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科技自主
中国启动国产浸没式DUV光刻设备量产 半导体自主化迈出关键一步
据路透社独家报道,中国已开始量产国产浸没式深紫外光刻设备,标志着其在半导体制造自主化道路上迈出重要一步。此举将直接影响全球芯片供应链格局。